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无油干式机械真空泵的原理及简介

称心的小土豆
传统的棒球
2022-12-23 14:02:18

无油干式机械真空泵的原理及简介

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2026-01-25 09:06:03

无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

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2026-01-25 09:06:03

区别如下:

1、机械泵干泵是机械真空泵(又简称干式机械泵),没有润滑,使用收取的液体来润滑。

2、油泵,是在机械腔内有润滑油润滑的泵体,工作时间长待久性好。

3、干泵的原理是工作腔产生容积的变化而进排气,形成了真空,可直接向外排气。工作装置永远没有机械摩擦因而不需要任何介质(媒体)介入。

4、油泵原理是利用油类密封各运动部件间的间隙,减少有害空间的一种旋转变容真空帮浦。这种帮浦通常带有气镇装置。

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2026-01-25 09:06:03
原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外,主要是在吸气过程中,吸气腔体积增大,真空度降低,将容器内气体吸入泵腔,在排气过程中体积变小,压强增大,最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项:正常运传前,真空泵应先做一次试运转,检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强,应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下,真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂,一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水,然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时,应检查电机是否正转,也就是电机与真空泵内转子转向一致,一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里,不宜有杂物、粉尘、水源,温度过高的地方也不适合。

动人的小土豆
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2026-01-25 09:06:03
应该是环境气压高有可能达不到极限真空。不过要看什么种类的泵,如果是滑阀真空泵,应完全不受影响。

机械式真空泵工作原理都是持续的抽取气体,使一定体积的气体被隔离到泵里面的空间内,再排出去,这样容器里的气体会越来越稀薄,这样随着容器内气体越来越少,泵的抽气效率也会越来越低,到最终各个密封部分(包括容器和泵本身)的漏气速率和抽气速率一样,真空就不再提升。

1、分类 a类,机械泵:油封机械泵(单级),油封机械泵(双级),分子泵,罗茨泵;

b类,蒸汽喷射泵:水银扩散泵,油扩散泵,油喷射泵;c类,干式泵:溅射离子泵,钛升华泵,吸附泵,冷凝泵,冷凝吸附泵。

2、各自结构,a机械泵就是通过机械原理抽气而抽真空的,一般都有定子,转子,和旋片,阀门等组成。机械泵一般抽真空度较低,油封机械泵抽到10(-2)次方就不能往下抽了,但罗茨泵和分子泵由于其巧妙的设计,可以抽到10(-4)甚至更高。b蒸汽喷射泵就是利用加热气化使高速喷出的蒸汽的动量携带气体分子出来,从而抽真空的,蒸汽喷射泵因为是由蒸汽携带气体出来的,一般都会有蒸汽污染。注:蒸汽携带气体出来之后蒸汽会冷凝回流,再蒸发,再携带,依次循环。蒸汽喷射泵抽的真空度比一般机械泵高,但是也高不了多少,主要是会有污染。

c干式泵,每种的原理结构都大不同,优点就是无污染,抽的真空度高,能抽高真空,最高可以达到10(-12)的极限真空,缺点是技术要求太高了,而且抽到10(-12)一般来说连续抽个几个月才能达到,时间好长哦。我用冷凝泵抽到10(-4)都得四五个小时哦,而且干式泵无法从大气压直接抽到高真空,得用前两种泵抽到一定真空度后,干式泵才能开始工作,继续抽到更高真空。

迷路的棒球
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2026-01-25 09:06:03

一、真空泵抽取真空(机械法):

1、变容真空泵,是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的。这种泵分往复式、旋转式两种。 

2、动量传输泵,它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类。 

二、工作原理:

气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵,有以下几种形式:  

1、吸附泵:依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。   

2、吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。 

扩展资料

1、液环泵:

虽然液环泵属于粗真空泵,但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。

液环泵工作原理在国外,液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%,仅次于干泵,由于液环泵大部分是铸件,加工要求也不高,属劳动密集型产品。

2、滑阀泵:

由于滑阀泵比较耐用、可靠,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,滑阀泵工作原理但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。

3、直联旋片泵:

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势。

关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

优雅的玉米
清脆的电源
2026-01-25 09:06:03
因为干泵的工作原理和油润滑泵原理不同,有些特殊场所要求必须要无油,所以就有了干泵了。干泵还分为很多种,我所知道的有微型无油泵(膜片式,摆动活塞式),无油旋片式真空泵,螺杆泵,涡旋泵等类型。这些泵的工作原理都不需要泵油来润滑,冷却,散热,所知有限,希望我的回答能对你有所帮助。