真空泵的作用

真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。。

真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构，立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

干式机械真空泵的应用：

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

参考资料来源：百度百科-真空泵

参考资料来源：百度百科-干式真空泵

1、将真空泵的吸气口通过工艺管与压力表的三通修理阀相连接。

2、将压力表的三通修理阀在与另一边的工艺管相连接。

3、将工艺管带顶针的一端与空调外机的三通截止阀相连接。

4、空调管道抽真空的时候,先打开修理阀的阀门。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵有真空泵气体输送泵，气体捕集泵，粗真空度，高真空度，超高真空度。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速。

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速。

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。

以上内容参考 百度百科-真空泵

液环真空泵有很多种系列的，例如2BV系列液环真空泵，2BE系列液环真空泵，2SK系列液环真空泵，SK系列液环真空泵，SZ系列液环真空泵。

用来较高真空的真空泵(机械增容泵)使不得直排大气，如直排大气会造成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如复杂加大真空泵电机功率又会造成真空泵过热致使罗茨真空泵旋子之间的微弱间隙很快因热收缩而卡死。

为保障真空泵能达成较高真空务必保障真空泵旋子之间的间隙。因而真空泵运用时务必设有前级泵，用前级泵将零碎内压力抽至定然规模内时再启动真空泵，如此能够防止真空泵过载。

扩展资料：

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

参考资料来源：百度百科-真空泵

真空泵较好的品牌有博山国源、华泰真空、百诚、德源、冠田。

1、华泰真空

华泰真空设备制造有限公司是一家具有良好的集真空技术研发、生产、销售于一体的真空应用及真空获得的制造厂家。

2、百诚

陕西百诚真空设备工程有限公司是一家集真空系统设计、制造、销售于一体的专业化真空公司， 属中国真空学会会员。与比亚迪汽车、上海通用汽车建立了长期的合作关系。

3、德源

公司为博山泵业商会副会长单位，近几年来先后被中国市场品牌战略委员会、市精神文明委员会、市工商局、市私营企业局等部门评为“百佳文明私营企业”、“3.15诚信企业”等荣誉单位，产品荣获“中国潜水电泵产品最具竞争力品牌”、“中国潜水电泵产品消费者最喜爱品牌”等称号。

4、冠田

成立于1996年，经过十多年的发展和对外交流，本公司已发展为一家具有自主设计、制造及销售为一体的专业性的泵制造企业。

5、博山国源

山东博山国源真空泵厂是机械部定点企业，是生产真空获得设备及真空应用产品的专业生产厂家，本厂具有完善的质量管理体系，技术力量雄厚，制造设备精良。可为用户设计、制造不同类型的真空应用产品。

到达-1Pa:双级油泵即可

到达-5Pa:需要 前级泵（油泵或者螺杆干泵）+（分子泵）

到达-8Pa:需要 前级泵（油泵或者螺杆干泵）+（分子泵）+（离子泵）

到达-11Pa:前级泵（油泵或者螺杆干泵）+（分子泵）+（离子泵）+（吸附泵）

高真空状态下可能需要烘烤除气，还有放气低的腔体，否则达不到要求。

图片为螺杆干泵+分子泵抽气效果。4.6E-7hpa,可以达到-5Pa级别。

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